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無油(you)(you)機(ji)(ji)械(xie)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)又(you)稱干泵(beng)(beng)(beng), 這種泵(beng)(beng)(beng)無任(ren)何工作液(ye)。因此(ci)能保(bao)證被抽空(kong)(kong)(kong)間(jian)清潔, 對周(zhou)圍環境沒有污(wu)染(ran), 有人稱之為“綠色” 真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)。使用它可以提高產品質量。例如(ru), 顯像(xiang)管內無油(you)(you)污(wu)染(ran)能保(bao)證陰極發(fa)射穩定, 圖(tu)像(xiang)清晰, 使用壽命長;鍍膜室內無油(you)(you), 能提高膜層性能, 增(zeng)加膜層牢固(gu)度等。因此(ci)無油(you)(you)機(ji)(ji)械(xie)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)適用于真空(kong)(kong)(kong)電子行業。本文所介紹的(de)無油(you)(you)機(ji)(ji)械(xie)真空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)均指直排(pai)大氣的(de)泵(beng)(beng)(beng)。所謂無油(you)(you)是(shi)指在泵(beng)(beng)(beng)腔(qiang)內不(bu)使用油(you)(you)類和液(ye)體, 而傳(chuan)動的(de)齒輪和軸承還需要油(you)(you)類潤滑, 只是(shi)油(you)(you)蒸氣不(bu)允許(xu)進入泵(beng)(beng)(beng)的(de)吸氣口。

   無油機(ji)械真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)種(zhong)(zhong)類(lei)(lei)，無油機(ji)械真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)種(zhong)(zhong)類(lei)(lei)很多, 按(an)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)結構, 可分成(cheng)接觸(chu)式(shi)和非接觸(chu)式(shi)兩大類(lei)(lei)。接觸(chu)式(shi)是(shi)指泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)運(yun)動件與靜(jing)止(zhi)件之(zhi)間有接觸(chu)、摩擦, 如旋片泵(beng)(beng)(beng)(beng)、活塞泵(beng)(beng)(beng)(beng)等,其(qi)zui大壓(ya)縮(suo)比(bi)隨壓(ya)力大小無大幅度變化(hua)(hua), 在(zai)接近大氣(qi)(qi)壓(ya)時比(bi)非接觸(chu)式(shi)壓(ya)縮(suo)比(bi)大。非接觸(chu)式(shi)是(shi)指泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)兩運(yun)動件之(zhi)間或(huo)運(yun)動件與靜(jing)止(zhi)件之(zhi)間沒有任何(he)接觸(chu),轉子需(xu)要(yao)高速旋轉, 如羅茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)、爪型泵(beng)(beng)(beng)(beng)、螺旋型泵(beng)(beng)(beng)(beng)等,其(qi)zui大壓(ya)縮(suo)比(bi)隨壓(ya)力變化(hua)(hua)而(er)變化(hua)(hua), 接近大氣(qi)(qi)壓(ya)狀態時, 壓(ya)縮(suo)比(bi)很小, 因(yin)此需(xu)要(yao)多級組合抽氣(qi)(qi)。比(bi)較科(ke)學的(de)(de)方法(fa)應(ying)該是(shi)按(an)泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)工作原(yuan)理劃分泵(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)種(zhong)(zhong)類(lei)(lei), 通常可分成(cheng)容積型和動量(liang)傳輸型兩大類(lei)(lei), 每一類(lei)(lei)里(li)還包(bao)括(kuo)幾種(zhong)(zhong)不(bu)同形式(shi)的(de)(de)泵(beng)(beng)(beng)(beng)。

   螺旋(xuan)型(xing)無(wu)(wu)(wu)油(you)機(ji)械真(zhen)空泵(beng)，螺旋(xuan)型(xing)無(wu)(wu)(wu)油(you)機(ji)械真(zhen)空泵(beng)比(bi)(bi)螺桿泵(beng)的(de)(de)轉(zhuan)子型(xing)線簡單(dan), 一般為單(dan)頭矩形(xing)螺旋(xuan)線, 可(ke)(ke)采用(yong)(yong)等螺距或變螺距的(de)(de)轉(zhuan)子。這(zhe)種泵(beng)有(you)(you)立式和(he)臥式兩(liang)種結(jie)構, 抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)原(yuan)理是相同(tong)的(de)(de)。被抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)從泵(beng)口(kou)進入泵(beng)腔, 在泵(beng)腔內被高(gao)速(su)(su)旋(xuan)轉(zhuan)的(de)(de)轉(zhuan)子壓縮(suo), 矩形(xing)斷面(mian)的(de)(de)轉(zhuan)子之間(jian)、轉(zhuan)子與泵(beng)腔之間(jian)形(xing)成(cheng)螺旋(xuan)密封, 間(jian)隙小, 泄漏少, 可(ke)(ke)得到(dao)較高(gao)的(de)(de)壓縮(suo)比(bi)(bi)。由于它的(de)(de)螺旋(xuan)圈數多(duo), 比(bi)(bi)螺桿型(xing)無(wu)(wu)(wu)油(you)泵(beng)壓縮(suo)比(bi)(bi)高(gao), 可(ke)(ke)從大(da)(da)氣(qi)(qi)(qi)壓抽(chou)(chou)(chou)到(dao)0.1 Pa 。其抽(chou)(chou)(chou)速(su)(su)與轉(zhuan)子直(zhi)徑、螺旋(xuan)倒(dao)角和(he)轉(zhuan)速(su)(su)有(you)(you)關, 一般比(bi)(bi)螺桿泵(beng)抽(chou)(chou)(chou)速(su)(su)小。干(gan)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)工藝中(zhong)的(de)(de)應用(yong)(yong)，蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)工藝可(ke)(ke)分(fen)為鋁(lv)質(zhi)金屬(shu)(shu)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)、多(duo)晶矽(xi)類(lei)的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)、氧化(hua)(hua)(hua)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)等, 金屬(shu)(shu)類(lei)的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)會(hui)產(chan)生(sheng)大(da)(da)量(liang)(liang)反(fan)應副(fu)產(chan)物, 對真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)負荷會(hui)很大(da)(da)。多(duo)晶矽(xi)膜(mo)(mo)(mo)、氧化(hua)(hua)(hua)矽(xi)膜(mo)(mo)(mo)等的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)使(shi)(shi)用(yong)(yong)CF4 , HBr ,SF6 等氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti), 反(fan)應副(fu)產(chan)物較少, 升(sheng)華溫(wen)(wen)度(du)較低, 可(ke)(ke)以氣(qi)(qi)(qi)態形(xing)式排出(chu)泵(beng)外。鋁(lv)質(zhi)金屬(shu)(shu)的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)則使(shi)(shi)用(yong)(yong)三氯(lv)化(hua)(hua)(hua)硼等氯(lv)化(hua)(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti), 會(hui)產(chan)生(sheng)大(da)(da)量(liang)(liang)的(de)(de)四氯(lv)化(hua)(hua)(hua)鋁(lv), 升(sheng)華溫(wen)(wen)度(du)高(gao), 很容易附著(zhu)在溫(wen)(wen)度(du)低的(de)(de)部位(wei), 未發生(sheng)反(fan)應的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)又多(duo)半屬(shu)(shu)于腐(fu)(fu)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)性(xing)較強(qiang)(qiang)的(de)(de)。在鈦的(de)(de)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)中(zhong)常使(shi)(shi)用(yong)(yong)氟(fu)化(hua)(hua)(hua)系(xi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti), 其特性(xing)類(lei)似于氯(lv)化(hua)(hua)(hua)系(xi)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)。干(gan)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)生(sheng)產(chan)中(zhong)多(duo)用(yong)(yong)到(dao)氟(fu)、氯(lv)、溴(xiu)化(hua)(hua)(hua)物系(xi)等腐(fu)(fu)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)性(xing)較強(qiang)(qiang)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti), 這(zhe)些氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)與水結(jie)合變成(cheng)強(qiang)(qiang)酸, 有(you)(you)強(qiang)(qiang)烈腐(fu)(fu)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)性(xing)。因此(ci), 要求(qiu)泵(beng)和(he)管道材料具有(you)(you)高(gao)度(du)耐腐(fu)(fu)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)性(xing)能。

   CVD工藝中的應(ying)(ying)用(yong)，利用(yong)LPCVD 工藝制備(bei)絕緣膜(mo)(mo)或半(ban)導體(ti)膜(mo)(mo)時, 有(you)機矽烷系統(TEOS)原料呈(cheng)液體(ti)狀態, TEOS 與反應(ying)(ying)副產(chan)物(wu)混合, 形(xing)成凝膠狀而(er)堵(du)塞真(zhen)空泵排(pai)氣(qi)口(kou), 這時在排(pai)氣(qi)口(kou)應(ying)(ying)加冷阱。利用(yong)PECVD 工藝制備(bei)絕緣膜(mo)(mo)時, TEOS 的反應(ying)(ying)副產(chan)物(wu)以白(bai)色粉末狀通過真(zhen)空泵, 因此(ci)應(ying)(ying)選(xuan)用(yong)非接(jie)觸型真(zhen)空泵。清洗氣(qi)體(ti)使用(yong)NF3 ,C2F6 , ClF3 等(deng)與上述(shu)反應(ying)(ying)副產(chan)物(wu)結合, 再形(xing)成另(ling)一種副產(chan)物(wu), 對真(zhen)空泵有(you)不良影響, 此(ci)時可利用(yong)降低真(zhen)空泵溫度(du)的方(fang)法解決(jue)。